دانلود تحقیق یون گیری واکنشی

فرمت فايل : ورد قابل ویرایش

تعداد صفحات: 65

فهرست مطالب:
مقدمه :    3
2-سيفتيك گازي (Gas Kinetics)    5
3-فيزيك پلاسما    6
تنظيم الكترودها    8
4-تخليه هاي مدار مستقيم (DC)    8
5-تخليه هاي Rf    9
پيكره بندي و سخت افزار رآكتور    9
طيف نگاري تخليه اپتيكي    12
8-الكترون گيري جلوه ها    12
9-مدل سازي سه بعدي از عوارض زمين و عوارض جغرافيايي    13
10-تخريب پلاسما    14
13-پردازش كار با پلاسما در سطو بزرگ    16
14-رآكتورهاي لايه لاية ستوني ماكروويو كه در فشارهاي بالا عمل مي كنند    17
15-فرآيند پلاسماي غير ميكروالكترونيك    18
معرفي سمينار (همايش)    19
نقطه نظر (موضع) يا موضوع مورد بحث سمينار    20
شرح حال و تحقيق اخير آقاي Herb Sawin    21
مقالات نمونه در سمنيار  Sample Seminar Notes    35
«بارگذاريهاي آزمايشي»    62
مقالات اخير هرب ساوين    65
مراجع    66
 

مقدمه : 
يون گيري واكنشي- PECVD- Ashing- پراكنده كردن مايعات- شيمي پلاسمايي- فيزيك پلاسما- عكس العمل سطوح نسبت به يكديگر
سخنران: Herbert H.Sawin
پروفسور مهندسي شيمي و مهندسي برق و علوم كامپيوتر از مؤسسه علم و صنعت ماساچوست (MIT)، شهر كمبريج، MA
 
پيشنهادهاي فهرست شدة سمينار:    July 8-12,2002كمبريج، ماساچوست
•    ارزيابي هاي سمينار
•    معرفي سمينار
•    طرح كلي سمينار
•    شرح حال و تحقيقات جاري هرب ساوين 
•    زمينه ها و خصوصيات خواسته شده از ثبت نام كنندگان
•    روند كار و نوع سمينار
•    اطلاعات براي ذخيره جا در هتل
•    اطلاعات ثبت نام 
•    آموزش در سايت
•    يادداشتهاي نمونه سمينار
•    مقالات اخير ساوين
•    تماس ها براي سوالات
•    ثبت نام در وب سايت
•    اطلاعات ناحية بوستون
•    سوابق آقاي ساوين 
 
1-معرفي 
•    فيزيك پلاسما
•    فرآيند ريزالكترونيك
2-سيفتيك گازي (Gas Kinetics)
•    مدل سيفتيك گازي
•    مدل توزيع ماكسول- بولتزمن
•    مدل گازي ساده شده
•    محتواي انرژي
•    نرخ برخورد بين مولكولها
•    مسير آزاد
•    سياليت عددي ذرات گاز روي يك سطح
•    فشار گازي
•    خواص انتقال
•    جريان گاز
•    وضعيت سيال
•    رسانايي رساناها
•    احتمال برخورد
•    پراكندگي گاز- گار
•    پراكندگي ذره از يك آرايش ثابت
•    انتشار ارتجاعي
•    برخورد غير ارتجاعي
•    نمونه هاي فرآيندهاي برخورد غير ارتجاعي
•    عكس العمل هاي فاز- گازي
3-فيزيك پلاسما
•    توزيع انرژي الكتروني
•    سينتيك همگوني پلاسما
•    مدل توزيع (مارجينوا)
•    مدل توزيع (دروي وشتاين)
•    انتقال ذره باردار شده و باردار شدن فضايي
•    سينتيك گاز رقيق شده
•    شكافت انتشار دو قطبي
•    تجمع غلاف
•    سينتيك سادة غلاف
•    حفاظت يا پوشش «ديباي»
•    تجمع غلاف و آزمايش بوهم (Bohm)
•    آزمايش غلاف بوهم
•    خصوصيات ميلة آزمايش
•    شكست و نگهداري، تخلية rf
•    تقريب ميدان مشابه
•    تقريب ميدان غيرمشابه
•    مدل سازي ئيدروديناميك خودساختة تخلية rf
•    اندازه گيري تخريب rf
•    مدل توازن الكترونيكي
•    مقايسة تخريب rf اندازه گيري شده و محاسبه شده
•    ارائه مدل به سبك مونت كارلوي تخلية rf
•    خود با يا سنيگ rf (تجمع خودبخودي rf)
•    سيستم همگن (متقارن)
•    توزيع ولتاژ در سيستم rf
•    توزيع ولتاژ در پلاسماي خازني rf متقارن و غير متقارن
•    مدار معادل تخلية rf
تنظيم الكترودها
•    سينتيك بمباران يوني
•    تخلية اپتيكي
•    لم اندازه گيري حركت
•    ريزنگاري تخلية اپتيكي
•    فرآيند برخورد الكترون
•    برخورد الكتروني اكسيژن در پلاسما